金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示，珠海格力电器股份有限公司申请一项名为“功率器件的制备方法及功率器件”的专利，公开号CN 118943011 A，申请日期为2024年7月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种功率器件的制备方法及功率器件，所述方法包括：对晶圆中第一表面上的原始光刻胶层进行第一光刻处理，得到第一光刻胶层；基于第一光刻胶层中的第一图案，对第一光刻胶层和第一区域进行一次干刻处理，在晶圆的所述第一区域处形成第一沟槽；对一次干刻处理后的第一光刻胶层进行第二光刻处理，得到第二光刻胶层；基于第二光刻胶层中的第二图案，对第二光刻胶层、第二区域和第一沟槽进行二次干刻处理，得到第二沟槽；基于包含第二沟槽的晶圆，制备功率器件。本申请实施例可以通过二次干刻处理将晶圆中一次干刻处理形成的损伤层去除，提高了功率器件性能和可靠性。

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