国家知识产权局信息显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“用于功率器件的钝化方法”的专利,公开号CN121793814A,申请日期为2026年1月。
专利摘要显示,一种用于功率器件的钝化方法,包括:形成衬底和位于所述衬底上的半导体器件;在所述衬底和所述半导体器件上形成介质层;在所述介质层上形成互连层,所述互连层具有缝隙;在形成所述互连层之后,进行氢钝化处理,所述氢钝化处理中,氢经所述缝隙扩散至所述衬底和所述介质层之间的界面。氢经所述缝隙扩散至衬底与介质层界面实施钝化,大幅缩短氢扩散路径,避免互连层全覆盖所述半导体器件导致氢扩散距离过长的情况,强化界面悬挂键的饱和钝化效果,有效降低界面态密度,优化功率器件工艺流程及膜质组成。
天眼查资料显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目920次,财产线条,此外企业还拥有行政许可429个。
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