近期，中微公司控股子公司超微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）与上海临港新片区管委会签署战略合作协议，将在临港建设电子束和光学量检测设备研发制造基地项目，项目总投资10亿元。

　　据芯辰大海不完全统计，如果算上超微公司准备建设的“电子束和光学量检测设备研发制造基地”，那么中微公司将有5大生产基地，其他四大分别是：中微金桥生产基地、中微上海临港生产和研发基地、中微南昌生产和研发基地、中微成都生产基地暨西南总部。

　　那么，中微公司这五大基地的现状究竟如何呢？芯辰大海从中微公司财报、中微公司官网、官方媒体报道等收集了与之相关的公开信息，以供读者分析。

　　上海金桥是中微公司当前的总部所在地，总面积约为3万平方米。从公开资料来看，上海金桥应当兼具总部和生产基地的功能，是中微公司在上海临港生产和研发基地、南昌生产和研发基地投产前的主要生产基地。

　　中微公司上市后，可能对金桥基地进行了升级，当时在招股书说明书中，中微公司的表述是：公司拟使用本次发行的部分募集资金用于以下项目：①高端刻蚀设备扩产升级（包括Primo AD-RIE、Primo SSC HD-RIE和Primo nanova 等）；② 高端MOCVD 设备扩产升级（包括高产能蓝绿光 LED MOCVD、高温 MOCVD、硅基氮化镓功率应用MOCVD、基于LED显示应用的 MOCVD设备 等）。

　　中微临港产业化基地建设项目地块总占地面积约157.5亩，规划总建筑面积 约180,000 ㎡，目前该基地的生产和研发基地主体建设已基本完成，并于2024年 8 月正式投入使用。

　　依据该项目的环评报告，中微临港产业化基地是一个综合性的生产基地，能生产刻蚀设备、薄膜设备、MOCVD等在内的中微公司当前的主要产品。

　　产能方面，依据中微公司的定增公告，中微产业化基地建设项目（包括临港生产和研发基地和南昌生产和研发基地）等离子体刻蚀设备、MOCVD设备、热化学CVD设备等产品的产能规划情况分别约为630腔/年、120腔/年、 220 腔/年、180腔/年。

　　需要注意的是，目前中微上海临港生产和研发基地已经投产的项目，可能只是一期项目。因为无论是环评报告还是财报，对其的称呼都是“临港产业化基地一期项目”，从命名方式来看，该项目可能会有二期。

　　南昌中微半导体设备有限公司（简称“南昌中微”）是中微公司的全资子公司，于2017年12月注册于南昌高新技术产业开发区，主要产品有用于 LED和功率器件外延片生产的 MOCVD 设备。

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　　南昌中微公司于2018年3月在南昌开始设备制造，9月实现规模生产，2018年、2019年两年实现年均产能100腔，年均产值10个亿。公司于2019年通过了ISO9001、ISO14000、ISO45000体系认证。

　　根据中微公司2020年发布的定增报告，以及公司官网的介绍。南昌中微生产研发基地项目（项目二期）总投资约10亿元，总建筑面积约14万平方米，新厂房已于2022年5月逐步投产，并于2023年7月正式投入使用。依据中微公司的定增报告，二期项目的MOCVD产能可能是120腔/年。

　　近期，中微公司宣布拟在成都市高新区投资设立全资子公司中微半导体设备（成都）有限公司，建设研发及生产基地暨西南总部项目，预计2025至2030年期间项目总投资约30亿元项目总投资约 为30.5 亿元。

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　　中微公司表示，该基地将专注于高端逻辑及存储芯片相关设备的研发和生产，涵盖化学气相沉积设备、原子层沉积设备及其他关键设备。

　　中微公司预计，该项目将在2025 年启动建设，2027 年正式投入生产。预计到 2030 年，中微半导体设备（成都）有限公司的年销售额将达到 10 亿元。

　　近期，超微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“超微公司”）与上海临港新片区管委会签署战略合作协议，将在临港建设电子束和光学量检测设备研发制造基地项目，项目总投资10亿元。

　　据临港新片区网站介绍，超微公司主要聚焦电子束关键尺寸量测（CD-SEM），电子束缺陷检测（EBI），电子束缺陷复检（DR-SEM）和高端光学量检测等集成电路重大设备的技术开发和产品的市场化，并探索人工智能在图像处理，设备智能化方面的广泛应用。

　　企查查显示，超微公司是中微公司的控股子公司，持股比例为60%。目前尚不清楚超微公司是否有其他大型生产基地。

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