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苏州聚谦申请增强抗栅锁性能的分裂栅功率MOSFET和制造方法专利提高器件综合性能_CQ9电子中国官方网站
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苏州聚谦申请增强抗栅锁性能的分裂栅功率MOSFET和制造方法专利提高器件综合性能

作者:小编    发布时间:2024-12-13 13:08:55    浏览量:

  金融界2024年12月12日消息,国家知识产权局信息显示,苏州聚谦半导体有限公司申请一项名为“增强抗栅锁性能的分裂栅功率MOSFET和制造方法”的专利,公开号CN 119108410 A,申请日期为2023年6月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种增强抗栅锁性能的分裂栅功率MOSFET和制造方法,分裂栅功率MOSFET包括:设于衬底上的第一种掺杂类型的半导体层;设于半导体层中的两个栅沟槽,栅沟槽中自下而上形成有屏蔽栅极、隔离层和控制栅极;设于两个栅沟槽之间的半导体层中的第二种掺杂类型的体区,和相隔设于体区下方的第一种掺杂类型的埋层,埋层中的杂质浓度大于埋层以外的半导体层中的杂质浓度,且埋层的底部在纵向上高于栅沟槽的底部。本发明能显著提高器件的抗栅锁能力,同时可进一步降低导通电阻,因此能提高SGT器件的综合性能,有利于高功率领域的应用,尤其适用于高感抗负载的场景。

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