尚阳通申请功率器件的金属结构及其制造方法专利能降低器件的结温

作者：小编发布时间：2024-12-10 15:47:10 浏览量：

　　金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，深圳尚阳通科技股份有限公司申请一项名为“功率器件的金属结构及其制造方法”的专利，公开号 CN 119092534 A，申请日期为2024年8月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种功率器件的金属结构，形成于底层结构的表面，至少在第一区域中，金属结构包括由n层金属子层的叠加形成的第一叠加结构，n为大于等于2的整数。第一叠加结构的边缘区域的结构包括：各层金属子层都具有刻蚀台阶。第k+1层金属子层的刻蚀台阶位于第k层金属子层的刻蚀台阶外侧各层金属子层的刻蚀台阶的高度由各层金属子层的厚度确定；第k层金属子层的刻蚀台阶被第k+1层金属子层覆盖并在第k层金属子层的刻蚀台阶顶部形成有第k+1层金属子层的沉积台阶。本发明还公开了一种功率器件的金属结构的制造方法。本发明能增加金属结构的厚度，从而能降低金属互连的寄生电阻，还能降低器件的结温。